影響激光切割加工表面質量的因素主要有：切割用激光激光切割加工時所需功率由材料的性質和切割機理決定，切割反射率高、導熱性好及熔點高的材料，需較大的激光功率和功率密度。對于汽化切割，所需功率最大，熔化切割次之，反應熔化切割則最小。激光應有高的光束質量。激光切割加工是基于熱效應的加工，為得到高的功率密度和精細切口，聚焦光斑直徑要小；同時，為保證沿不同方向切割時的質量的一致性，激光束應有良好的繞光軸旋轉對稱性和圓偏振性以及高的發射方向穩定性，以保證聚焦光斑位置穩定不變。現代激光器還應具備連續和高重復輸出、快速切換功能，以保證復雜輪廓的高質量切割。

激光切割加工表面質量包含表面幾何形狀特征和表面層的物理力學性能兩個方面的內容：

1、表面幾何形狀特征，經任何機械加工方法加工后得到的加工表面都不可能是絕對理想的表面，總有峰谷交替的小波紋，偏離理想的光滑表面，形成微小的幾何形狀誤差，按加工表面特征可分為表面精糙度、表面波度、表面傷痕。

2、表面層的物理力學性能，加工過程中，由于擠壓力、磨擦力及切削熱的作用，會使工件表層的物理力學性能等產生變化，以及在某些情況下產生化學性質的變化，主要有以下幾個方面，表面層加工硬化、表面層金相組織改變，表面層產生的殘余應力。

現代模具對零件的工作性能和可靠性的要求越來越高，因此提高激光切割機零件表面質量的要求也越來越高。